脉冲偏压电源基本参数要求

偏压电源基本参数：电源功率频率10-80KHZ脉冲频率40KHz脉冲百分比10-90%连续调节输出方式直流、脉冲输出电压0〜1000V输出电流0~1A预溅射偏压300V〜500V沉积偏压50V〜250V输出电压稳定率预前稳压，负载电压10%偏压电源要求工作过程中保持电流稳定，加载较大电压时候不会产生过流现象电压 要求连续可调，偏压电流要求数字显示，精确到1mA电源要求有冷却，风冷或者水 冷BOMB-IIIS 系列偏压电源技术规格（参考脉冲偏压电源）电源功率范,围1Q-EDKW输入电源AC38DY三祀四线制 50-60Hi±10^输岀方式咏门渝出电M0-1BD7 0-5007 6-1000V瞒冲频率40KHI脉冲百分比10 9班连缜调节输出电压稳 定率预前稳压.词载电压川町■符却方式4D-80EW水符便用环境环境温度0-4Qt：坏境湿度朝对湿度＜聲％空气，前吉无粉尘无腐也性易魅性气休通凤良好清洁不含矿物质及其他可溶ft翔质水温2Q-30r压力 0.15±0.D5Mpa通讯方弍模拟別测/R亞空说明；电源的输出特性可根据使用需要作相应调整。