soiex02全耗尽SOI-VT和亚阈值斜率

soiex02.in：全耗尽SOI - VT和亚阈值斜率要求：SPISCES 最低版本：阿特拉斯5.16.3.R这个例子重复soiex01.in但一个已经设计操作与全耗尽SOI薄膜的装置它表明：· 使用Atlas语法基本SOI结构的定义 · 设置传输模式，包括碰撞电离 · 生成ID / VDS = 0.1V Vgs下曲线 · 从结果中提取的阈值电压和亚阈值斜率 · 绘图输出曲线和结构薄膜全耗尽SOI MOSFET的已被证明，以实现低阈值电压和近乎理想的逆阈斜坡这使得他们理想的低功耗操作这个例子表明，ATLAS是能力音响在soiex01.in部分耗尽的晶体管，在这个例子中完全耗尽晶体管之间的差异在这个例子中使用的语法和方法是相同的，只有两三个修改soiex01.in网已被修改，以支持的0.1um的较薄的SOI薄膜厚度和地区语句上的SOI层的定义 也同样被改编此外，通道掺杂已减少对 兴奋剂的语句，以确保电影完全耗尽加载和运行这个例子，选择的负载例如在DeckBuild中的按钮这将复制输入文件到当前工作目录和任何支持文件选择运行按钮来执行的例子go atlasTITLE SOI device simulation# SILVACO International 1992, 1993, 1994, 1995, 1996## 0.1um of silicon on 0.4um oxide substrate #mesh space.mult=1.0# x.mesh loc=0.00 spac=0.50x.mesh loc=1.15 spac=0.02x.mesh loc=1.5 spac=0.1x.mesh loc=1.85 spac=0.02x.mesh loc=3 spac=0.5#y.mesh loc=-0.017 spac=0.02y.mesh loc=0.00 spac=0.005y.mesh loc=0.05 spac=0.02y.mesh loc=0.1 spac=0.01y.mesh loc=0.5 spac=0.25#region num=1 y.max=0 oxide region num=2 y.min=0 y.max=0.1 siliconregion num=3 y.min=0.1 oxide##*********** define the electrodes ************# #1-GATE #2-SOURCE #3-DRAIN #4-SUBSTRATE(below oxide)#electrode name=gate x.min=1 x.max=2 y.min=-0.017 y.max=-0.017electrode name=source x.max=0.5 y.min=0 y.max=0electrode name=drain x.min=2.5 y.min=0 y.max=0electrode substrate##*********** define the doping concentrations *****#doping uniform conc=1e17 p.type reg=2doping gauss n.type conc=1e20 char=0.2 lat.char=0.05 reg=2 x.r=1.0 doping gauss n.type conc=1e20 char=0.2 lat.char=0.05 reg=2 x.l=2.0 save outf=soiex02_0.strtonyplot soiex02_0.str -set soiex02_0.set## set interface charge separately on front and back oxide interfacesinterf qf=3e10 y.max=0.05interf qf=1e11 y.min=0.05## set workfunction of gatecontact name=gate n.poly## select modelsmodels conmob srh auger bgn fldmob print #solve init## do IDVG characteristic#method newton trap solve prev solve vgate=-0.2 solve vdrain=0.05solve vdrain=0.1## ramp gate voltagelog outf=soiex02_1.log mastersolve vgate=0.1 vstep=0.1 name=gate vfinal=1.5## plot resultant IDVG threshold voltage curve tonyplot soiex02_1.log -set soiex02_1.set## plot resultant IDVG subthreshold slope curve tonyplot soiex02_1.log -set soiex02_2.set##extract name="subvt" \ 1.0/slope(maxslope(curve(v."gate",log10(abs(i."drain")))))##extract name="vt" (xintercept(maxslope(curve(v."gate",abs(i."drain")))) \ - abs(ave(v."drain"))/2.0)#quit。