COMSOLMultiphysics等离子体模块介绍

COMSOL Multiphysics等离子体模块介绍低温等离子体这一概念的涵盖相当广泛，它融合了流体力学、化学反应工程、物理动力学、 热量传递、质量运移，电磁学等众多学科 COMSOL Multiphysics 新近推出的等离子体模块，就是专门用来处理这一类问题的数学工具， 它可以方便的处理在众多工程领域内都非常常见的非平衡放电问题等离子体模块内建了多个建模界面， 用于仿真那些最为常见的等离子体反应器类型，包括感应耦合等离子体 (I nductively Coupled Plasmas, ICP) ，直流放电(DC Discharges) ，微波泵浦放电(Microwave Plasmas) ，电容耦合等离子体(Capacitively Coupled Plasmas, CCP ) 如果能够模拟等离子体和外部电路的相互作用， 那对于全面分析一个放电特性是非常有意义的COMSOL的等离子体模块不仅提供了相应的工具，可以直接添加电路元件到 1D，2D或者3D的COMSOL模型中；而且支持直接导入一个已经做好的 SPICE电气连接表(netlist)到 COMSOL 模型中在等离子体化学方面，COMSOL支持用户从文件导入气体碰撞横截面的数据，然后模拟化学反应；也支持用户直接在 COMSOL模型中添加化学反应式以及相应的物质种类， 从而完成直接建模求解。

至于等离子体物理本身那些错综复杂的多物理场之间的耦合，不用担心， COMSOL Multiphysics 的等离子体模块会自动处理并给出最终结果应用领域：•电感耦合等离子体•微波等离子体* 直流放电・电容耦合等离子体・介质阻挡放电*照明*等离子体显示板*国土安全•有害气体破坏•等离子源• 离子源•蚀刻技术•半导体工艺等离子体清洗过程的多物理、多尺度模拟。