真圆度测定仪说明书

2 仪器的设置下面介绍RA-116系列产品的设置环境和仪器的连接方法2．1设置环境的选择使用环境对RA-116系列产品的测定功能有一定影响，因此设置仪器时要注意以下几点；·设置在无振动、无灰尘、无油污而且温度变化较小，相对稳定的场所·避免选择温度急剧变化的场所，适合在20℃±10℃的温度范围内使用·保存温度最好维持在－10℃~60℃·避免在温度过高的场所使用湿度85%以下，在封闭的地方）·选择使用额定电压的90~110%之间的电源·采用高精度测试仪进行测量时，要注意避免振动和空气流动的影响 2．2仪器的摆放2.2.1 仪器的摆放布局主体部分以及空气过滤器部分的摆放布局，请参照下图2.2.2 导线的连接方法请根据下图连接导线 警 告 仪器在发热、冒烟、焦味等异常状态下继续使用，有导致火灾或通电的危险因此在使用时发生异常现象，请立即切断电源、拔掉电源插头然后联系代理商或者营业所2.2.3 调整桌面（工作台，载物台）的安置注 意 以下操作请在规定大气压下进行如在非规定大气压下进行操作，会损伤空气轴承 拆卸固定板（请参照示意图）备注: 在运送此仪器时要用到固定板，请保管好固定板 工作台的CX、CY 两个角扭向左扭转，使工作台易置入中心轮。

工作台安置到中心轮时，使中心轮的‘●’标记和工作台的CX 角扭方向一致 插入酸化银电池（适用于RA-116D产品）如图示，在工作台上固定的4个电池盒中插入酸化银电池电池的使用年限通常为1～2年如果，显示屏（LCD）有显示“B”字样，表示电池电量不足这时，请立即更换电池2.2.4调主机部分的水平请根据以下的顺序，调整主机的水平度1． 在供给压缩空气的状况下、主机接入电源CRT画面设定到如下图所示位置2． 检测器支架和检测器按下图组装3． 检测器尽可能设置在桌面的外围4． 使工作台旋转时刻度尺偏转在5微米以内的状况下，慢慢的提高放大率，调出水平5． 在工作台上放置水平调整器，在下图的※标记处进行水平调整在调出水平后，其他2点作为辅助轻轻摁一下3 检测单元的调整3.1检测器的调适检测器的测头和R轴的中心轴不对齐，会产生误差 要对齐测头尖端和R轴的中心轴，请按以下顺序操作检测器的调整有两种方法：水平调整和平面调整1）水平调整· 竖直放置检测器支架（如图），调出工作台的中心· 使工作台静止不动· 如图转动调整螺丝，将检测器移至位移最大处 按顺时针方向转动调整螺丝，测头将向外移动· 提高放大率再按上面的顺序反复操作。

注 意 直径微小、测量精度要求比较高的工件，使用水平调整2）平面调整· 横放检测器· 测头尖端对齐R轴的中心位置A）在测头倾斜的状态下进行测量，必须重新调整测头尖端与R轴中心对齐测头倾斜时，调整检测器使测头下降至测头尖端位置（垂直时）B）测头倾斜时（水平度测定等），要加入因倾斜而产生的误差，进行调整3.2校准/校正/校对3.2.1 校准本仪器由杠杆式检测器读出位移 所以，如果测头的长度变化，即使是统一变量，但不能判断是同一物体如果更换了测头或者检测器主机的话，必须重新进行校准（含灵敏度）3.2.2校准的种类（1） 静态校准 是在检测器中赋予已知的位移绝对值，使仪器经过校准打到赋予的值的校准方法2）动态校准 调整仪器使测量数据与已知真圆度工件的数据相吻合的校准方法，叫动态校准3）直径校准待测工件的直径可以与已知直径的标准物进行比较，以此测定直径的方法叫直径校准注 意· 在进行直径校准时，事先要进行检测器灵敏度（静校准或者动校准）校正· 在校准之前，调出标准的中心点和水平· 标准物最好使用真圆度性能良好的产品标准物直径由LSC基准圆直径代用· 测头角度有变更时，得不到正确的测量结果，需要重新进行灵敏度校准&直径校准。

3.2.3校正方法（1）静态校准 设定校准条件· 在系统菜单【测定（M）】选项中选择【校正条件设定】· 开始输入赋予的绝对值· 模板校准，输入模数；标准量块校准，输入20微米 准备校准· 模板校准；◎ 在工作台放置标准物（如：参考半球、标准量块等），使它与检测器轻轻接触也可采用旋转工作台的方法）◎ 停止供给空气，固定工作台· 标准量块校准；◎ 如图在光学玻璃上连接规块◎ 将标准量块和光学玻璃置入工作台中心，使测头接触光学玻璃面，调出水平偏差要小于0.5微米◎ 调出水平后测头放置在标准量块的最高处 操 作· 在系统菜单【测定（M）】选项中选择【静态校准】· 放大率为1000，检测器调“0”（单位：微米）（RA-300/400/700可以使用自动装置）· 进入下一阶段，赋予一个位移，进行下一步模板校准，·检测器和基准面间插入模板；标准量块校准，·将调整桌面慢慢旋转，使测头尖端接触标准量块低部 校正值的登录 在输入测量数据即测量单位、名称、测头的偏转角度后，请按登录注 意：测量数据没有进行登录，那么，此次校正将视为无效 测量数据进行登录后校正结果立即更新，且新输入的校正值可以随时调用。

2）动态校准 设定校准条件· 在系统菜单【测定（M）】选项中选择【校正条件设定】· 开始输入测量工件的真圆度值 准备校准在调整平台上放置测量物体，调出中心点 操 作· 在系统菜单【测定（M）】选项中选择【动态校准】· 放大率调整到1000· 指定主要移动的过滤器选择测定要素，点击测定要素变更，更改过滤值· 进行下一步，调整平台旋转，自动进行测定 校正值的登录 在输入测量数据即测量单位、名称、测头的偏转角度后，请按登录注 意：测量数据没有进行登录，那么，此次校正将视为无效 测量数据进行登录后校正结果立即更新，且新输入的校正值可以随时调用3）直径校正 设定校准条件· 在系统菜单【测定（M）】选项中选择【校正条件设定】· 选择直径校准的测量方向 准备校准· 在旋转平台上置入校正物体（已知直径的物体），调出水平例： 外形：镇规；内径：环规等 操 作·在系统菜单【测定（M）】选项中选择【校准测定】· 放大率调整到1000以上· 进行下一步，旋转平台自动进行测定 校正值的登录 输入标准直径然后点击〖OK〗注 意：校正后，可以进行直径测定 但在R轴复零或者更改了检测器灵敏度校正值时（静/动校正），要重新进行直径校准。

此时不能进行直径测量3.2.4调出校正值在系统菜单选择【调出校正值】，将看到以下的画面，在这里可以进行确认校正值、更改校正值、消除校正值· 确认现存校正值；选择〖取消〗校正值不便；· 更改校正值； 选择已登录的校正值，点击〖OK〗校正值替换为选择的数据· 消除校正值；选择已登录的校正值，点击〖消除〗那么，选择的校正值将被删除4 保管、检查下面介绍RA-116系列产品的消耗品更换、清扫等维护常识4.1检查维持RA-116系列产品的功能并且能够安全使用此仪器，检查、保管时应注意以下几点4.1.1 测量前的检查1． 确认大气压强 用在旋转桌面的空气轴承，如果不在规定的大气压下使用会损伤轴承确认LCD显示屏上有无空气《NG》的信息并且空气调整部的标尺是否在390Kpa（4kgf/cm）以下如果LCD显示屏上有空气《NG》的信息并且空气调整部的标尺在390Kpa（4kgf/cm）以下，那么，用减压调整法，注入气体调整顺序是解锁、拔出下图所示（1）按扭，将按扭旋转，至到规定的压力调整完了后摁入、锁定按扭2． 确认空气调节器&空气过滤器下图所示的（2）、（3）部分有积水时，需进行排水操作排水操作禁止在注入空气的状态下进行。

排水将（4）（5）部分摁上去在排除注 意 在注入空气的状态下，水、油的存留方式将会改变因此仪器设置完了后尽快确认排水周期，定期进行排水3． 确认电线、导线、导管的连接确认主机和空气过滤器的送气管以及信号导线、检测器的连接导线、电源电线是否连接；且所有导线无漏电现象4． 使用时须擦掉防锈油工作台是进行精密测量的重要部分，在保管时涂防锈油，使用时擦掉防锈油擦掉防锈油时常用工业用刷子或者没有细毛的布等4.1.2测量完了后仪器的保管1． 工作台进行防锈处理清扫工作台的灰尘，涂抹防锈油2． 实施排水操作 停止注入空气，进行排水操作顺序请参照4.1.1 -23． 进行检测器的扫除检测器测头尖端有污物，会影响测量的精确度，要注意保持清洁注 意 仪器如果用挥发油或者稀释济等有机溶剂试擦，会导致仪器表面变色、雕漆 等因此在清扫仪器时；注意避免使用有机溶剂，选择使用中性洗涤剂或者干抹布4.2 更换消耗品空气过滤器、空气调节器单元的电池、保险丝等易耗品，需要定期更换（参照使用手册）4.2.1更换电池电池的使用同时达到下叙2个条件时更换电池·累积使用时间超过1500小时的时候；·放开减压扭时所示压力比原压力下降98Kpa（1Kg/c㎡）以上时1． 更换空气过滤器单元的电池更换空气过滤器的电池时将外罩向左旋转取出。

然后，同样将电池向左旋转取出安装电池的顺序是取出电池的逆顺序安装完确认“O”轴承2． 更换空气调节器单元的电池更换顺序可参照更换空气过滤器单元电池的顺序安装完确认“O”轴承4.2.2更换保险丝保险丝在主机内板中如：1.3.1-6所示更换保险丝，必须在切断电源的状态下进行警 告 使用指定的保险丝使用未指定的保险丝，有发生火灾的危险5 附 录(1) 主机部分工作台旋转精度 径向跳动：（0.07+6H/10000）微米 H：测量高度（㎜）JIS B7451-1997旋转速度 6rpm台面直径 150㎜居中范围 ±3㎜升降范围 ±1°最大工件直径 440㎜最大工件重量 20㎏最大探测直径 280㎜垂直位移 280㎜ 工作台旋转一周的周边移动量 粗动：约30㎜，微动：约1㎜最大探测高度 280㎜最大探测深度 100㎜ 内径直径30㎜以上水平支臂行程 165㎜ 包括工作中心25㎜检测器支架跳动 ±3㎜工作台旋转一周的周边移动量 粗动：约30㎜，微动：约1㎜空气压力 390kPa 约4.0kgf/cm2空气消费 45L/min 标准状态质 量 约42kg 主机部：约40㎏；空气过滤器压力：约2㎏备注1） 直径不超过40㎜，高度不超过20㎜的工件，使用附件台测量。

备注2） 在直径超过240㎜处，不可以改变检测器支架的姿势2)检测器测量范围 ±1000微米测定力 70~100mN 约7～10gf测头 直径1.6㎜ 硬质合金球测量方向 有两种方向切换测量方式备注3）此检测器仅适用于标准长度的测头要使用长型测头需要延长支臂3）其他测量标准 1800点/回转放大倍数 ×100，×200，×500，×1K，×2K，×5K，×10K，×20K（8个阶段）记录倍率 ×100~×200K、AUTO、任意数据过滤 补偿位移型：2CRPC75、2CRPC50无补偿位移型：2CR75、2CR50截止值 低通道：15、50、150、500 upr宽通道：15～50、15～150、150～500 upr（任意值能确定RA-116/116D）评价方法 最小二乘法（LSC）、最小区域法（MZC）、最大内接圆法（MIC）、最小外接圆法（MCC）数据分析项目 真圆度、同轴度、同心度、厚度偏差、直角度、偏心度、平面度、平行度表示方式 上面、展开、侧面、倾斜、俯视图使用电源 AC100V～240V消费电力 40VA其他 同时解释多种项目测量数据可保存到软盘和硬盘上校正误差各种3D和进行多视点观察实时表示简易操作各种表示图形颜色的多种变化补偿位移调整焦距、放大图形尽可能减少测量角和位移产生的误差解读曲线图功率谱、输出测量数据、齿轮解释、谐波分析 （4）标准附属品Code/Parts NO品名个数备注12AAB681标准测头1（旧997086）350365调整放大透镜23020-1180-32接地导线1351581联接器（插座）120SH（日东工器）350256记录胶管1取用1/4胶管382951塑料包装罩1538614六角扳手 2112BAB500六角扳手 0.91538612“＋”型螺丝刀1359151调整螺丝用扳手1保险丝2电源导线199MBB110J使用说明书（主机部）199MBB003J使用说明书（解释篇）1211-016参考半球1356038附件台1938882充电盒 SR445998464系统转盘1（5）特别附属品211-032快速卡盘211-0143角卡盘211-031微型卡盘211-045放大率检测规997090套装量块358592空气过滤器单元358593空气调节器单元（10个）12AAB682凹曹用测头（φ3.0㎜）（旧997226）12AAB683深槽用测头（φ0.25㎜）（旧997227）12AAB684拐角用测头（φ0.25㎜）（旧997228）12AAB685刻纹测头（φ15.0㎜）（旧997229）12AAB686小孔用测头（φ1.0㎜）（旧997230）12AAB687微孔用测头（φ0.5㎜）（旧997231）12AAB694盘型测头（φ12㎜）12AAB695曲柄测头（φ1.0㎜）12AAB696曲柄测头（φ0.5㎜）12AAB674球型测头（φ1.6㎜） （旧998001）12AAB676Renishaw型测头，用M2螺纹安装（旧998002）。